
FFKM Chemraz 663(사진. 그린트위드)
그린트위드(Greene Tweed)가 저온 에치(Etch) 및 증착(Deposition) 애플리케이션에 견딜 수 있게 설계된 압축 성형 퍼플루오롤라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM) ‘Chemraz 663’ 출시를 발표했다.
저온 작동 수용능력(최하 -40℃/-40℉)과 고순도(20,000ppb 미만의 미량 금속 함량)를 특징으로 하는 Chemraz 663은 ESC 애플리케이션과 저온 진공 환경에 적합한 제품이다.
그린트위드 앤디 존슨(Andy Johnson) 반도체 생산 매니저는 “Chemraz 663은 반도체 시장에서 가장 낮은 온도를 수용할 수 있는 FFKM으로 설계됐다”며 “탁월한 저온 수용능력을 갖춘 고성능 플라즈마 소재를 찾고 있다면 Chemraz 663을 추천한다”고 강조했다.
한편 그린트위드는 고성능 열가소성 플라스틱 복합재, 씰 및 엔지니어드 부품을 제조하는 글로벌 기업으로, 150년 이상의 기술 전문성과 다양한 시장의 상업적인 지식을 결합하고, 고객들과의 협업을 통해 까다로운 고객의 요구사항을 충족하며 비용을 절감하는 엔지니어링 솔루션을 제공하고 있다.


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